EH 机械增压泵以简略的罗茨泵原理为根底，仍是最受喜欢的泵，可用于压力规模为 0.01 至 10 mbar、需求高抽速的使用场合。此泵有必要一直由另一个供给相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在比较来说较低的压力下作业，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因而高度可靠。
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适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力规模下、需求超越 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的使用场合。它可在比较来说较低的压力环境下表现出更高的可靠性。EH 泵具有高质量的无油泵送机械设备。这可供给：安静的无振荡运转。可靠且防腐蚀。先进的轴封技能，处理舱中不或许会呈现油污染防腐型泵送机械设备选用高等级铸铁制作。经验证的轴封安置可保证没有油进入泵送定子，而且因为不需求或许腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因而可将保护要求降到最低。轴封的规划通过优化，可保证润滑剂没办法进入泵送机械设备中。这可在需求最高规范清洁程度的使用中坚持增压泵功能。此外，这可避免在公役很严厉的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。动态平衡的转子和精细研磨齿轮有助于完成泵的平稳、运转噪音小，而这些特色正是先进的技能设备的制作商所需求的。
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