深圳市托理拆利机电设备有限公司是Edwards爱德华真空泵授权代理商,为客户24小时供给技术上的支撑及售后维保服务，包含小型干泵、工业用干泵、化学品干式泵、半导体干泵、涡轮分子泵、超高真空泵、分散泵、油封泵、机械增压泵、液环泵、低温泵、走漏检测、剩余气体分析仪、真空组件等。针对各个职业工艺端规划供给适宜的真空体系解决方案。
干式真空泵是半导体各制程中必备的通用设备，应用于单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、原子层堆积（ALD）、封装、测验等清洁苛刻的制程。
在半导体制造的完好过程中，常常触及纳米级其他物理或化学反应，在这种情况下，若处于一般的大气状况将很大程度影响半导体质量。以外延生长为例，在惯例环境下，晶体外表将触摸几亿个气体分子，会阻止外延层的有序摆放，引进很多缺点。适宜安稳的真空度将为半导体的杰出功能供给有利根底。
半导体的工厂环境需求十分挨近，千级、百级、十级是对空气颗粒度的要求，可是真空要到达万分之一的压力，这个等级几乎是0级的，到达一个十分洁净的环境。
榜首、要安稳的维持在这个低压的环境，略微的压力上升，就从另一方面代表着杂余的分子会分散回来，破坏掉洁净的环境。
第二、真空泵在没有运作起来曾经，是暴露在大气里的，所以咱们的真空设备和相关的电气控制设备，它的污染程度不能高于它所在的洁净环境，这就要求真空泵在制造的完好过程中也要像出产F1赛车相同在一个洁净的环境前辈去出产，所以这个是半导体真空泵面对的两个首要应战。
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